Seren射频电源

上海青锐真空设备有限公司

Shanghai Qing Rui Vacuum Equipment Co., Ltd.

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SEREN （赛恩）是美国一家专业从事射频电源及匹配器生产开发的公司，承自美国老牌专业射频电源制造公司RFPP技术，经AE并购后，原核心团队于1994年创立SEREN（赛恩），目前已经成为多家半导体设备制造商、太阳能设备制造商及分析仪器制造商指定或选用的品牌电源。

产品特点：

1.双输出功率范围可实现高精度控制设计

电源使用范围一般为10%-90%，低于10%精度无法保证，但赛恩(Seren)电源在使用低功率时，可选择10%输出，这样可以保证在低功率输出时同样保持较高的精度。此功能对于一些研发机构非常适合，一台电源可以当两台电源来使用。

2.预设值等离子体启辉电路设计

在等离子体启辉时，可以迅速匹配到最佳位置，减少C-Tune/C-Load搜寻时间，即减少了反射功率过高的时间。可以起到保护电源的作用。

3.可选择的电流工作模式

对于PECVD而言，电流决定了沉积速度。如果是多电极阵列式PECVD，为使镀膜更均匀，选用电流模式可以大幅降低因电极间差异、气氛浓度差异等产生的薄膜沉积的不一致，提高各电极间镀膜的均匀性。赛恩(Seren)除了提供电流模式外，也提供传统的功率模式。

4.生产地为美国

电源为美国制造，保证品质。

上一个：无

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