上海青锐真空设备有限公司

上海青锐真空设备有限公司

Shanghai Qing Rui Vacuum Equipment Co., Ltd.

Pinnacle® 3000

直流

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Advanced Energy 的 Pinnacle® 3000 直流电源提供最高的效率和功率因素，从而带来业界最低的运行和安装成本。 Pinnacle 工艺一致性和控制带来的额外好处是使在正常溅射工艺和偏压应用中的工艺变化明显减少、产量提高。
Pinnacle® Plus+

直流

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Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus+ 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异
MDX 系列500 W

直流

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MDX 500 在真空环境中经久耐用，能够在磁控环境中对不同类型的弧进行多级抑制和灭弧。在基本磁控溅射、射频偏压直流溅射以及直流偏压射频溅射中表现一流。其小巧的尺寸使其非常适合于实验室系统和小规模的生产环境。
MDX 系列1 kW 和1.5 kW

直流

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精密的调节功能、优良的灭弧和较低的存储输出能量使 MDX 系列直流电源成为业界的领先产品。由于在真空环境下的经久耐用，这些适应于恶劣环境的电源经常被作为直流磁控管溅射传动而受到广泛应用。该产品系列还提供精密的调节性能，如射频溅射中的偏压电源和蚀刻系统。紧密的设计使之成为实验室系统首选解决方案。
直流脉冲产品套件

直流

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AE 的脉冲产品系列具有各种功能，能够满足您所有的困难和各式各样的工艺要求。这个灵活的直流脉冲附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可变频率。这个系列的每一项产品在设计上均具有相当的特点，能够针对反应和直流溅射提供经证实的优势。

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