上海青锐真空设备有限公司

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Shanghai Qing Rui Vacuum Equipment Co., Ltd.

Integro™ 射频发生器

RF 射频电源系统

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经济型 Integro™ 射频发生器在很小的体积内结合了一个 13.56MHz、600W 的射频发生器和一个自动匹配网络。这节约了宝贵的空间并使得整合变得更容易。它支持的功能包括：脉冲模式、CEX 操作以及多种保护功能。
Hilight™ 射频发生器（13.56Mhz,600W）

RF 射频电源系统

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针对低功率、载行应用，HiLight 系列射频发生器小巧、轻便，拥有空冷式设计，专门设计为需要现场安装在非传统19英寸的机架型。
Cesar® 射频发生器

RF 射频电源系统

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强大而多功能的 Cesar® 平台可提供非常稳定的射频功率输送性能，以及一个多样化的模式选择，每种模式都具有一套独特的功能（2、4、13.56、27.12和40.68 MHz；0.3至5 kW；拥有多种用户界面和输入选择），从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件——而无需定制发生器所需的漫长交付期。  高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现最优化，从而使您的投资和制程生产力得到最大化的利用。一个全面而高度灵敏的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上找到，并显示在一个大的液晶显示屏上）带来了无与伦比的便利性——提高了操作人员的效率，并使培训成本最小化。
Apex® RF 供电系统

RF 射频电源系统

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通用 Apex® 系列射频电源和供电系统采用复杂的射频转换技术，在适合于真空室安装的模块化设计中提供增大的产品和工艺可靠性。Apex 平台在针对半导体、平板显示器或数据存储制造以等离子为基础的薄膜工艺中表现优异。
GenCal™

RF 射频电源系统

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GenCal™ 系统提供在等离子工艺行业常用的离散频率下业界领先的测量准确性，以及与 AE 获得研发大奖的等离子阻抗传感器所使用的相同的尖端混合动力传感器技术。这项经过优化的技术在有高谐波含量和噪声等离子产生信号的情况下，能够以目前其它功率测量仪器所无法实现的准确率进行测量。
Navigator® 数字阻抗匹配网络

RF 射频电源系统

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多功能 Navigator® 匹配网络的先进技术能在多种负载阻抗下（从15W 至 30kW）进行快速、准确而可靠的匹配。该匹配网络配备了微处理器控制步进马达电路和用户可选数字调谐算法，使它能提供较传统模拟调谐法更高的一致性和精确性。这也使得它可以优化半导体、太阳能、FPD 以及 MEMs工艺流程（包括蚀刻、CVD、HDP-CVD、PVD 和腔体清洗应用）的输送过程功率。一个可选的内部 Z'Scan® 射频传感器可提供对过程功率和阻抗的实时测量和分析，从而使您能够发现并显著降低制程变化性。此外，可选的虚拟前面板 (VFP) 软件使您能够通过一台个人计算机来监视并控制匹配网络。

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