上海青锐真空设备有限公司
Shanghai Qing Rui Vacuum Equipment Co., Ltd.
GenCal™ 系统提供在等离子工艺行业常用的离散频率下业界领先的测量准确性,以及与 AE 获得研发大奖的等离子阻抗传感器所使用的相同的尖端混合动力传感器技术。这项经过优化的技术在有高谐波含量和噪声等离子产生信号的情况下,能够以目前其它功率测量仪器所无法实现的准确率进行测量。
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