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上海青锐真空设备有限公司

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Apex® RF 供电系统

Apex® RF 供电系统

通用 Apex® 系列射频电源和供电系统采用复杂的射频转换技术，在适合于真空室安装的模块化设计中提供增大的产品和工艺可靠性。Apex 平台在针对半导体、平板显示器或数据存储制造以等离子为基础的薄膜工艺中表现优异。

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通用 Apex® 系列射频电源和供电系统采用复杂的射频转换技术，在适合于真空室安装的模块化设计中提供增大的产品和工艺可靠性。Apex 平台在针对半导体、平板显示器或数据存储制造以等离子为基础的薄膜工艺中表现优异。


通用 Apex® 系列射频电源和供电系统采用复杂的射频转换技术，在适合于真空室安装的模块化设计中提供增大的产品和工艺可靠性。Apex 平台在针对半导体、平板显示器或数据存储制造以等离子为基础的薄膜工艺中表现优异。
优势
更高的功率密度
更好的工艺灵活性
产量提高
持有成本降低
简化工艺工具整合
灵活的通信

特点
简化的设计
真空室安装、框架安装、支架安装和鞋盒式 (shoebox) 选择
宽带控制回路和可选的高重复率脉冲
业界领先的弧管理
符合监管要求
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