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直流脉冲产品套件

直流脉冲产品套件

AE 的脉冲产品系列具有各种功能,能够满足您所有的困难和各式各样的工艺要求。这个灵活的直流脉冲附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可变频率。这个系列的每一项产品在设计上均具有相当的特点,能够针对反应和直流溅射提供经证实的优势。

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AE 的脉冲产品系列具有各种功能,能够满足您所有的困难和各式各样的工艺要求。这个灵活的直流脉冲附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可变频率。这个系列的每一项产品在设计上均具有相当的特点,能够针对反应和直流溅射提供经证实的优势。


AE 的脉冲产品系列具有各种功能,能够满足您所有的困难和各式各样的工艺要求。这个灵活的直流脉冲附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可变频率。这个系列的每一项产品在设计上均具有相当的特点,能够针对反应和直流溅射提供经证实的优势。

优势
精密调节功能
提高产率
减少靶材烧入时间
高可靠性
简单维护和置换

特点
出色的弧控制——在很多情况下,弧完全被消除。
离子能量更高
更大功率运行
基材温度更低
靶材温度更低
工艺灵活性和宽容度
系统整合容易
双阴极功能(Astral® 产品


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