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Pinnacle® Plus+

Pinnacle® Plus+

Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus+ 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异

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Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus+ 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异


Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus+ 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。

优势
更高的沉积率与产品率
薄膜均匀性和品质一流 
成弧造成的基材损坏减少 
成本更低
系统整合容易
极佳的工艺灵活性和宽容度
重复性能
在过度曲线上运行稳定
吞吐量更高
便于监控
无与伦比的系统灵活性

特点
一个紧凑型封装
频率调节范围为 5-350kHz
占空比高达45%
电压范围宽——单输出宽阻抗范围 
大功率运行
基材温度低
单输出（5kW 和 10kW 型号）
用于双阴极生产的双输出（双路5kW 型号）
绝佳的弧控制
反应性溅射闭环控制



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